SiGe基板上へのひずみGeエピタキシャル層成長と結晶物性評価
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概要
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- 2012-05-10
著者
-
木下 恭一
宇宙航空研究開発機構
-
依田 眞一
宇宙航空研究開発機構
-
中塚 理
名古屋大学
-
財満 鎭明
名古屋大学
-
山羽 隆
名古屋大学大学院工学研究科
-
依田 眞一
宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所(JAXA)
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