次世代ULSIに向けた固相拡散法を用いたSi1-x-yGe[x]Sn[y] on Insulator構造の形成

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概要

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• 豊田理化学研究所の論文

著者

• 中塚 理

  名古屋大学

• 財満 鎭明

  名古屋大学

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