SiGe基板上へのひずみGeエピタキシャル層成長と結晶物性評価

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概要

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• 2012-05-10

著者

• 木下 恭一

  宇宙航空研究開発機構

• 依田 眞一

  宇宙航空研究開発機構

• 中塚 理

  名古屋大学

• 財満 鎭明

  名古屋大学

• 山羽 隆

  名古屋大学大学院工学研究科

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