Al_2O_3/Ge構造への酸素熱処理および酸素ラジカル処理による界面反応機構の解明
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概要
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- 2012-06-14
著者
-
加藤 公彦
名古屋大学大学院工学研究科
-
中塚 理
名古屋大学
-
竹内 和歌奈
名古屋大学大学院光学研究科
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坂下 満男
名古屋大学大学院光学研究科
-
財満 鎭明
名古屋大学
-
田岡 紀之
名古屋大学大学院工学研究科
-
柴山 茂久
名古屋大学大学院工学研究科
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