Si(001)基板上に成長したAl結晶の構造評価

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概要

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• 1996-03-10

著者

• 上田 修

  (株)富士通研究所

• 上田 修

  株)富士通研究所

• 清水 紀嘉

  (株)富士通研究所

• 北田 秀樹

  (株)富士通研究所

• 清水 紀嘉

  富士通研究所

• 北田 秀樹

  東京大学大学院工学系研究科総合研究機構

• 北田 秀樹

  東京大学大学院工学系研究化総合研究機構

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