Cu-Mn合金を用いた高信頼超薄膜バリアメタル
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概要
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- 2008-07-10
著者
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清水 紀嘉
富士通研究所
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工藤 寛
富士通研究所
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羽根田 雅希
富士通研究所
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大塚 信幸
富士通研究所
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砂山 理江
富士通研究所
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田平 貴裕
富士通研究所
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酒井 久弥
富士通マイクロエレクトロニクス
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天利 聡
富士通マイクロエレクトロニクス
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