清水 紀嘉 | (株)富士通研究所

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• 宮嶋 基守

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• 河野 隆宏

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• 上田 修

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• 北田 秀樹

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• 北田 秀樹

  東京大学大学院工学系研究科総合研究機構

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  東京大学大学院工学系研究化総合研究機構

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著作論文

• Si(001)基板上に成長したAl結晶の構造評価
• 45nmノード以降に適用可能なCu配線用PVDバリアメタル技術(配線・実装技術と関連材料技術)

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