外園 明 | 株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

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概要

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関連著者

• 外園 明

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 外園 明

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 宮野 清孝

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 宮野 清孝

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 外園 明

  (株)東芝 セミコンダクター社 Soc研究開発センター

• 大内 和也

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 安達 甘奈

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 大内 和也

  SoC研究開発センター

• 豊島 義明

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 宮野 清孝

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 稲葉 聡

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 藤原 実

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 青木 伸俊

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 川中 繁

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 豊島 義明

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 外園 明

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 須藤 裕之

  (株)東芝セミコンダクター社soc研究開発センター

• 清水 敬

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 森 伸二

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 小熊 英樹

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 高柳 万里子

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 石内 秀美

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 豊島 義明

  (株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 安武 信昭

  (株)東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター

• 辻井 秀二

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 川中 繁

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 豊島 義明

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 清水 敬

  プロセス技術推進センター

• 森 伸二

  プロセス技術推進センター

• 馬越 俊幸

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 青木 伸俊

  マイクロエレクトロニクス研

• 石内 秀美

  東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター

• 石内 秀美

  (株)東芝

• 清水 敬

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 辻井 秀二

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 辻井 秀二

  株式会社東芝

• 安武 信昭

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 藤原 実

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 渡辺 健

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 佐々木 俊之

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 稲葉 聡

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 井谷 孝治

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 稲葉 聡

  (株)東芝セミコンダクター社

• 東 篤志

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 青木 伸俊

  株式会社東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 飯沼 俊彦

  株式会社東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 東 篤志

  東芝セミコンダクター社

• 水島 一郎

  株式会社東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 東 篤志

  東芝

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社 プロセス技術推進セ

• 宮田 俊敬

  株式会社東芝研究開発センター

• 宮田 俊敬

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 小島 健嗣

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 青木 伸俊

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 諸岡 哲

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 水野 央之

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 馬越 俊之

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 大村 光弘

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 山田 浩玲

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 冨田 寛

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 松下 大介

  (株)東芝研究開発センター

• 村岡 浩一

  (株)東芝研究開発センター

• 石丸 一成

  (株)東芝セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 渡辺 由美

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 馬越 俊幸

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 福井 大伸

  (株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 冨田 寛

  (株)東芝セミコンダクター社

• 石丸 一成

  (株)東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 石丸 一成

  (株)東芝セミコンダクター社

• 川中 繁

  セミコンダクター社半導体研究開発センター株式会社東芝

• 福井 大伸

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 小島 健嗣

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 諸岡 哲

  半導体先端テクノロジーズ(selete)

• 青木 伸俊

  (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター

• 青木 伸俊

  (株)東芝soc開発センター

• 松下 大介

  東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 大村 光弘

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 馬越 俊幸

  (株)東芝 Ulsi研究所

• 村岡 浩一

  東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 村岡 浩一

  (株)東芝 研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 小島 健嗣

  (株)東芝セミコンダクター社

• 水島 一郎

  (株)東芝 研究開発センター

• 綱島 祥隆

  (株)東芝 セミコンダクター社

• 綱島 祥隆

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 富田 寛

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 川中 繁

  東芝 システムLSI開発センター

• 諸岡 哲

  (株)東芝 セミコンダクター社 半導体研究開発センター

• 綱島 祥隆

  (株)東芝

• 水島 一郎

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 杉崎 絵美子

  株式会社東芝研究開発センター

• 大島 康礼

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 安達 甘奈

  株式会社東芝研究開発センター

• 宮野 清孝

  株式会社東芝研究開発センター

• 稲葉 聡

  株式会社東芝研究開発センター

• 井谷 孝治

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 大島 康礼

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 井谷 孝治

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

• 安達 甘奈

  株式会社東芝デバイスプロセス開発センター

• 野中 聡

  旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座

• 石田 芳也

  北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科

• 加藤 善光

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 佐々木 俊行

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 吉村 尚郎

  (株)東芝 セミコンダクター社システムLSI開発センター

• 玉置 直樹

  (株)東芝 セミコンダクター社SoC研究開発センター

• 岡野 王俊

  (株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 松田 聡

  (株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 村越 篤

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 飯沼 俊彦

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 工藤 知靖

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 柴田 英紀

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 谷口 修一

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• Matsushita T.

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 東 篤志

  (株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 親松 尚人

  (株)東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 須黒 恭一

  (株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 勝又 康弘

  (株)東芝 セミコンダクター社 システムLSI開発センター

• 松田 聡

  (株)東芝セミコンダクター社システムlsi第一事業部システムlsiデバイス技術開発部

• 松下 貴哉

  (株)東芝 セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 谷口 修一

  株式会社東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 吉村 尚郎

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 張 利

  (株)東芝研究開発センター

• 岡野 王俊

  (株)東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 加藤 善光

  (株)東芝 Ulsi研究所

• 柴田 英紀

  (株)東芝 Ulsi研究所

• 勝又 康弘

  東芝セミコンダクター社

• 水島 一郎

  東芝セミコンダクター社

• 楠 直樹

  東芝セミコンダクター社システムLSI事業部

• 齋藤 真澄

  東芝研究開発センター

• 木下 敦寛

  東芝研究開発センター

• 古賀 淳二

  東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

• 須黒 恭一

  東芝 セミコンダクター社 プロセス技術推進センター

• 須黒 恭一

  (株)東芝

• 木下 敦寛

  東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 張 利

  東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 小池 三夫

  (株)東芝

• 安武 信昭

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 外園 明

  東芝セミコンダクター社半導体研究開発センター

• 小池 三夫

  東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

• 竹野 史郎

  東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

• 齋藤 真澄

  (株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

• 齋藤 真澄

  東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 竹野 史郎

  (株)東芝研究開発センター環境技術研究所

• 大黒 達也

  株式会社東芝

• 大黒 達也

  株式会社東芝セミコンダクター&ストレージ社

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著作論文

• hp22 nm Node Low Operating Power(LOP)向けSub-10nmゲートCMOS技術(VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低電力))
• 14nmゲートCMOS技術 : poly-SiGe ゲート電極、及びNiSiを用いた低温プロセスによる性能向上
• 極薄膜NO Oxynitrideゲート絶縁膜とNi SALICIDEプロセスを用いた高性能35nmゲート長CMOS
• シミュレーションを用いた微小MOSFETにおける寄生抵抗の解析および抽出方法の検討(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
• サブ100nm向けエレベートソース・ドレイン構造の設計指針
• hp22 nm Node Low Operating Power(LOP)向けSub-10nmゲートCMOS技術(VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低電力))
• サブ100nm向けエレベートソース・ドレイン構造の設計指針
• 走査型拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)を用いたソース・ドレインにおける高分解能イメージング及び高精度プロービング解析(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
• シミュレーションを用いた微小MOSFETにおける寄生抵抗の解析および抽出方法の検討(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
• 14nmゲート長CMOS技術
• ナノスケールMOSFETにおけるプラズマドーピングとレーザーアニールを適用した急峻SDEの検討(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
• ナノスケールMOSFETにおけるプラズマドーピングとレーザーアニールを適用した急峻SDEの検討(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)
• マルチ・ゲート酸化膜を備え自己整合プロセスを用いたDual Work Function (DWF) MOSFETsの低消費RFアプリケーションに対するスケーリングの方針(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)

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