張 利 | (株)東芝研究開発センター
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概要
関連著者
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張 利
(株)東芝研究開発センター
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張 利
東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー
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(株)東芝 研究開発センター
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東芝セミコンダクター社大分工場品質管理部
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東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
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東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
著作論文
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- ポーラスSiの陽極酸化EL発光評価と微細構造解析
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- 走査型拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)を用いたソース・ドレインにおける高分解能イメージング及び高精度プロービング解析(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))
- 高精度拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)を用いたSRAM不良ビットの直接観察及びメカニズム解明 (シリコン材料・デバイス)
- 特定箇所2次元キャリア分布計測技術と故障解析への応用
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