ポーラスSiの陽極酸化EL発光評価と微細構造解析
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概要
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ポーラスSi(PS)の陽極酸化過程での液中EL発光は、現状の固相接合ELに比べ、極めて高効率であり、発光の再現性も高い。本研究では、陽極酸化中のELとPLのその場同時測定を新たに行うことによって、その発光挙動と微細構造の関係について解析した。その結果、光照射下で作製したPSは、表層に基板とは孤立した微細構造を含み、これがPLに寄与するのに対し、暗中で作製したPSは表層まで基板と電荷のやりとりが可能なネットワーク型の微細構造を有し、PLとELは一致することを見出した。この知見を元に、電荷注入発光に適すると考えられる暗中PSをベースにしてEL発光効率の改善を試み、予備陽極酸化とエッチングの組合わせによって、これまで最も高い0.35%の発光効率を得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-04-21
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