高精度拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)を用いたSRAM不良ビットの直接観察及びメカニズム解明 (シリコン材料・デバイス)
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概要
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- 2011-01-31
著者
-
張 利
(株)東芝研究開発センター
-
木下 敦寛
東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー
-
張 利
東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー
-
原 啓良
東芝セミコンダクター社大分工場品質管理部
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