石川 貴之 | 東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

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概要

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関連著者

• 張 利

  (株)東芝研究開発センター

• 木下 敦寛

  東芝研究開発センター

• 木下 敦寛

  東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 張 利

  東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー

• 竹野 史郎

  東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

• 原 啓良

  東芝セミコンダクター社大分工場品質管理部

• 橋本 庸幸

  東芝セミコンダクター社大分工場品質管理部

• 早瀬 洋平

  東芝セミコンダクター社大分工場品質管理部

• 栗原 美智男

  東芝セミコンダクター社大分工場品質管理部

• 萩島 大輔

  東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

• 石川 貴之

  東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー

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著作論文

• 高精度拡がり抵抗顕微鏡(SSRM)を用いたSRAM不良ビットの直接観察及びメカニズム解明(IEDM特集(先端CMOSデバイス・プロセス技術))

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