低エネルギー電子線照射を施したp型4H-SiCにおける再結合中心の評価

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概要

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• 2012-05-10

著者

• 大島 武

  日本原子力研究開発機構

• 畑山 智亮

  奈良先端科学技術大学院大学

• 加藤 正史

  名古屋工業大学

• 市村 正也

  名古屋工業大学

• 吉原 一輝

  名古屋工業大学大学院 機能工学専攻

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