SiGeC界面緩衝層を用いた3C-SiC/Siヘテロエピタキシー
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2000-06-10
著者
-
畑山 智亮
Graduate School Of Materials Science Nara Institute Of Science And Technology
-
畑山 智亮
奈良先端科学技術大学院大学
-
冬木 隆
奈良先端科学技術大学院大
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