SiO_2/p型4H-SiC界面特性におけるPOCl_3アニールの効果

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概要

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• 2011-12-09

著者

• 畑山 智亮

  奈良先端科学技術大学院大学

• 矢野 裕司

  奈良先端科学技術大学院大学

• 冬木 隆

  奈良先端科学技術大学院大

• 高上 稔充

  奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科

• 矢野 裕司

  奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科

• 冬木 隆

  奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科

• 畑山 智亮

  奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科

• 高上 稔充

  奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科

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