InGaAs MOSゲートスタック形成と界面特性
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概要
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- 2012-11-10
著者
-
田岡 紀之
半導体miraiプロジェクト 産業技術総合研究所次世代半導体研究センター(mirai-aist)
-
竹中 充
東京大学大学院工学系研究科
-
高木 信一
東京大学大学院 工学系研究科
-
田岡 紀之
東京大学大学院工学系研究科
-
金 相賢
東京大学大学院工学系研究科
-
横山 正史
東京大学大学院工学系研究科
-
鈴木 麗菜
東京大学大学院工学系研究科
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