大規模集積回路と半導体材料技術の現状と将来

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概要

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著者

• 竹中 充

  東京大学大学院工学系研究科

• 高木 信一

  東京大学

• 高木 信一

  半導体miraiプロジェクト-ナノ電子デバイス研究センター:東京大学大学院工学系研究科

• 竹中 充

  東京大学電気系工学専攻

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