シリコンの酸化機構解明の手がかりを求めて
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概要
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- 2002-09-10
著者
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服部 健雄
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
服部 健雄
東京工業大学フロンティア研究機構
-
服部 健雄
武蔵工業大学シリコンナノ科学研究センター
-
服部 健雄
東京工大 フロンティア研究機構
-
服部 健雄
武蔵工業大学
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