シリコンの自然酸化膜 (LSI製造における表面制御技術<特集>)

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概要

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• 一般社団法人 表面技術協会の論文

著者

• 服部 健雄

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 服部 健雄

  武蔵工業大学シリコンナノ科学研究センター

• 服部 健雄

  武蔵工業大学

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