極薄シリコン酸化膜表面のナノ領域構造評価
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概要
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- 1997-12-01
著者
-
服部 健雄
武蔵工業大学工学部
-
大橋 正俊
武蔵工業大学 工学部
-
服部 健雄
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
服部 健雄
武蔵工業大学シリコンナノ科学研究センター
-
藤村 正明
武蔵工業大学 工学部
-
八木 朋之
武蔵工業大学 工学部
-
服部 健雄
武蔵工業大学
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