原子間力顕微鏡を用いたケミカルオキサイドの局所的物性評価
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概要
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- 1996-12-17
著者
-
服部 健雄
武蔵工業大学工学部
-
大橋 正俊
武蔵工業大学 工学部
-
服部 健雄
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
服部 健雄
武蔵工業大学シリコンナノ科学研究センター
-
渡辺 邦広
武蔵工業大学
-
安武 正敏
セイコー電子工業
-
服部 健雄
武蔵工業大学
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