SiO_2/Si界面下に誘起された格子歪み : 位相敏感X線回折法による(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• 位相敏感X線回折法という我々が開発した新しい手法により、SiO_2/Si界面付近の結晶側に数10〜数100nmの深さにわたって存在する格子歪みについて調べた。Kr/O_2プラズマ酸化、700℃および900℃熱酸化によって数nmの酸化膜を形成したSi(1OO)ウェハについて、界面以下の歪みの深さ方向の分布を調べた。熱酸化した試料とKr/O_2プラズマによって酸化した試料では、界面近傍の歪みの深さ方向分布に明らかな違いがあることが分かった。また変調のプロファイルの鮮明度から、界面に平行な方向にも静的な構造揺らぎが存在することが明らかになった。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2004-06-14

著者

• 高橋 敏男

  東京大学物性研究所

• 依田 芳卓

  Jasri

• 依田 芳卓

  高輝度光科学研究センター

• 三木 一司

  物材機構

• 隅谷 和嗣

  東大物性研

• 高橋 健介

  武蔵工大工

• 矢代 航

  物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所

• 三木 一司

  物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所

• 隅谷 和嗣

  東京大学物性研究所

• 高橋 健介

  武蔵工業大学工学部

• 服部 健雄

  武蔵工業大学工学部

• 三木 一司

  電総研

• 服部 健雄

  東北大学未来科学技術共同研究センター

• 矢代 航

  東大新領域

• 矢代 航

  物材機構ナノマテ:産総研ナノテク

• 服部 健雄

  東京工業大学フロンティア研究機構

• 服部 健雄

  武蔵工業大学シリコンナノ科学研究センター

• 三木 一司

  物材機構ナノマテ:産総研ナノテク

• 三木 一司

  物材・材料研究機構 ナノマテリアル研究所

• 三木 一司

  産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究センター

• 三木 一司

  物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所

• 三木 一司

  (独)物質・材料研究機構 ナノ有機センター

• 三木 一司

  (独)物質・材料研究機構ナノ有機センターナノアーキテクチャーグループ

• 服部 健雄

  東京工大 フロンティア研究機構

• 服部 健雄

  武蔵工業大学

• 依田 芳卓

  高輝度光科学研究

関連論文

• 21pGE-1 β-パイロクロア化合物の^Os核共鳴非弾性散乱(21pGE パイロクロア・フラストレーション系,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 22pGQ-2 Atomic structure of the Si(553)-Au surface
• 20aPS-12 原子層制御蒸着法で作製したCo_2MnSn薄膜の核共鳴散乱法による局所磁性評価(20aPS 領域3ポスターセッション(薄膜・人工格子・表面・微小領域・スピントロニクス・遍歴・化合物磁性),領域3(磁性,磁気共鳴))
• 20pPSB-6 複合極限環境下^Eu核共鳴前方散乱によるEuFe_2As_2の電子状態研究(20pPSB 領域8ポスターセッション(低温III(鉄系超伝導体)),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 特集にあたって-放射光とX線結晶学, この15年
• 22pGH-13 AFe_2As_2の^Fe核共鳴非弾性散乱による格子振動II(22pGH FeAs系超伝導(磁気共鳴),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 26aRH-7 EuFe_2As_2の^Fe核共鳴非弾性散乱による格子振動(鉄系超伝導体3(中性子・光物性など),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 25aPS-79 ^Sm核共鳴非弾性散乱によるSm_4Bi_3の格子振動の研究(領域8ポスターセッション(f電子系等),領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
• 19aTH-12 K-40の放射光核共鳴非弾性散乱
• 19aTH-11 核共鳴準弾性、非弾性散乱を用いた溶液中の鉄イオンのダイナミクス
• 22pYH-8 核共鳴準弾性・非弾性散乱を用いた鉄貯蔵蛋白質フェリチンの研究
• 22pYH-7 K-40の放射光核共鳴散乱
• 23pWA-4 充填スクッテルダイトの核共鳴非弾性散乱(23pWA フォノン物性,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 21aPS-80 ^Sm核共鳴前方散乱を用いた高圧力下Sm_4Bi_3の磁性(21aPS 領域8ポスターセッション(f電子系等および低温),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 22pPSA-8 軟X線吸収・発光分光法によるSiON/SiC(0001)のバンドオフセット構造の研究(22pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 27aQL-2 放射光核共鳴散乱法による時間領域干渉計の開発と応用(領域12,領域11合同(ガラス転移・過冷却液体),領域12,ソフトマター物理,化学物理,生物物理)
• 28aRE-12 時間領域干渉計 : 核共鳴neV準弾性散乱法の開発(28aRE X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 28pRE-10 X線CTR散乱を利用した超薄膜界面原子の3次元再構成法(28pRE 領域10,領域5合同 X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 24pPSA-23 表面X線回折法を用いたSi(111)-5×2-Au表面の構造解析(ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 21pXJ-6 X線回折によるSi(111)表面上のFeシリサイド薄膜構造解析(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 20aPS-32 表面X線回折法を用いたSi(111)-Au表面構造の研究(ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 25pTD-5 軟X線吸収及び発光分光法によるSiON/SiC(0001)超薄膜の元素選択的電子状態の研究(表面界面電子物性,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 28aYK-4 放射光メスバウアー吸収スペクトル測定法の開発(X線・粒子線(X線),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 28aRE-6 放射光メスバウアー分光法の高エネルギー核種への応用(28aRE X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 20aYA-1 層状超伝導体SmFePOの磁性(20aYA 鉄オキシニクタイド1(合成,圧力効果,光電子分光など),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 24pWG-2 放射光の核ブラッグ散乱を用いたneV分解能の非弾性散乱分光法について(X線・粒子線(X線回折・核共鳴分光),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 24pYF-3 Ir-193のK吸収端近傍における原子核励起確率の観測(24pYF 中性子生成・対象性・ミュオン,実験核物理領域)
• 21pTC-10 放射光核共鳴吸収分光法の開発研究(X線・粒子線(X線),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 13aTJ-10 動力学的回折効果を利用した X 線パラメトリック散乱の観測(X 線・粒子線 : X 線, 領域 10)
• 13aTJ-9 SiO_2/Si 界面下に誘起されたメゾスコピックスケール歪みの解明 : 位相敏感 X 線回折法による(X 線・粒子線 : X 線, 領域 10)
• 14pXG-10 SiO_2/Si 界面下に誘起された歪み場中の静的構造揺らぎ(表面界面構造 : 半導体, 領域 9)
• SiO_2/Si界面下に誘起された格子歪み : 位相敏感X線回折法による(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
• 位相敏感X線回折法によるSiO_2/Si界面以下の微小歪みの測定(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)
• 29aXB-12 放射光を用いた X 線パラメトリック変換
• シンクロトロン光を用いた固体酸化物形燃料電池セルの残留応力測定
• 19aTH-5 多波回折を利用したSiO_2/Si界面付近の微小歪みの測定
• 13aTJ-6 Fe 量子ワイヤーの放射光核共鳴散乱(X 線・粒子線 : X 線, 領域 10)
• 26pXC-4 X線回折によるSi(111)-6×1(3×1)-Ag表面の3次元的な原子配列の研究(表面・界面構造(シリコン表面),領域9(表面・界面, 結晶成長))
• 28aRE-11 MSMフォトディテクタによる単一X線のタイミング検出(28aRE X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 21pHT-6 CTR散乱ホログラフィー(21pHT 領域10,領域9,領域1合同シンポジウム:原子分解能をもつX線・電子線ホログラフィー,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 23aYH-3 ブラッグ反射励起条件下のCTR散乱とその応用
• 22aQG-2 放射光核共鳴非弾性散乱によるFePtナノ粒子のフォノン測定(22aQG スピントロニクス・微小領域磁性,領域3(磁性,磁気共鳴))
• 23aSF-11 K吸収端近傍入射X線エネルギーでの金197のNEET確率変化とNEETメカニズム(23aSF 検出器・イオン源他,実験核物理領域)
• 27aXD-3 ^Sbの放射光核共鳴前方散乱(27aXD X線,粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 28aYK-1 核共鳴X線散乱時間スペクトルによる水素誘起原子拡散の研究II(X線・粒子線(X線),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 28aRE-9 核共鳴X線散乱時間スペクトルによる水素誘起原子拡散の研究(28aRE X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 27aXD-7 微小角入射条件におけるX線90度ブラッグ反射の研究(27aXD X線,粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 19aYM-6 結晶核モノクロメーターによる超単色シングルラインX線の生成(X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 26pPSB-31 Structures of Pb on high-index Si surfaces
• 29pPSB-58 Si(553)-Auの表面構造の研究(29pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 22aXJ-10 酸化によるSiC(0001)-3×3と√×√-R30°表面構造の変化(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 25aYH-6 電子線照射によるSn/Ge(111)-3×3表面構造の変化(ダイナミクス,領域9,表面・界面,結晶成長)
• 27aTE-3 X線回折によるMnSi/Si(111)界面構造の研究(27aTE 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 21pBS-10 金197のK-NEET端観測と励起準位精密測定(21pBS 検出器II,実験核物理領域)
• 28aRE-1 結晶X線導波管のレンズ作用(28aRE X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 20pPSA-15 複合極限環境下^Eu核共鳴前方散乱によるEuNiO_3の電子状態研究(20pPSA 領域8ポスターセッション(低温:Mn酸化物,V酸化物,鉄オキシニクタイドなど),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 13aTJ-8 X 線回折を利用した Si/Ge/Si(001) 結晶における Ge island の歪みについての研究(X 線・粒子線 : X 線, 領域 10)
• 30aPS-35 表面X線回折法による埋もれたSi(111)-5×2-Au構造の研究(30aPS 領域9ポスターセッション(表面,界面,結晶成長),領域9(表面・界面,結晶成長))
• 21aPS-36 表面X線回折法によるSi(111)-Auの埋もれた界面構造の研究(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 21pSD-11 MSMフォトディテクタによる単一X線・電子線のタイミング検出とNEET実験への応用(21pSD 粒子・光検出器I,実験核物理領域)
• 29pWB-11 Os-187のL_1電離によるNEET観測(29pWB 実験核物理領域,理論核物理領域合同 宇宙核物理,実験核物理領域)
• 25aTB-7 放射光核共鳴散乱法による時間領域干渉計の開発と応用II(25aTB 領域11,領域12合同 ガラス合同セッション,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))
• 27aWH-10 放射光X線による金197-NEET確率の精密測定(検出器,実験核物理)
• 27aXM-10 放射光核共鳴非弾性散乱法によるサイトを選択したフォノン状態密度の研究(フォノン物性・X線・粒子線)(領域10)
• 28pPSA-72 SmRu_4P_の^Sm核共鳴前方散乱(領域8(磁性)ポスターセッション(希土類・アクチナイド化合物))(領域8)
• 29pPSB-17 核共鳴散乱を用いた鉄シアノ錯体の水溶液中におけるダイナクス(ソフトマスター・化学物理・生物物理)(領域12ポスターセッション)
• 31aSC-7 ^Ir の放射光 K 殻電離による NEET 観測
• 19aTH-8 APD電子検出器による^Er核共鳴 (80.577keV)の観測
• 26pYA-8 APD検出器による^Au-NEET現象の観測
• 25pYK-7 FeSおよびFeOの非弾性核共鳴散乱によるフォノン状態密度
• 23pWK-3 ヨウ化カリウム溶液のI-127核共鳴準弾性散乱(23pWK X線・粒子線(X線),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))
• 23aWS-1 Low temperature superstructure formation in gold atomic chains on high-index Si surfaces
• 23aYH-5 蛍光X線ホログラフィによるGe/Si(001)量子ドット構造の研究
• 23pWK-2 核共鳴X線散乱時間スペクトルによる水素誘起原子拡散の研究III(23pWK X線・粒子線(X線),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))
• 表面構造はどこまで分かったのか?
• 21pHT-6 CTR散乱ホログラフィー(21pHT 領域10,領域9,領域1合同シンポジウム:原子分解能をもつX線・電子線ホログラフィー,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
• 12pTJ-10 Si (111) 上 ^Fe 薄膜の放射光励起内部転換電子放射測定及び前方散乱 X 線測定(X 線・粒子線 : X 線・中性子線, 領域 10)
• 23pWK-5 多波長同時分散光学系を用いたトランケーションロッドの測定III(23pWK X線・粒子線(X線),領域10(誘電体格子欠陥,X線・粒子線フォノン))
• 23pPSA-18 メスバウアー核による充填スクッテルダイトにおける格子ダイナミクス(23pPSA 領域8ポスターセッション(f電子系等1),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 28aYK-9 多波長同時分散光学系を用いたトランケーションロッドの測定II(X線・粒子線(X線),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
• 28pRE-9 多波長同時分散X線光学系を用いた結晶トランケーションロッドの測定(28pRE 領域10,領域5合同 X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
• 26aWG-13 X線CTR散乱法によるPr_Ba_Cu_3O_/SrTiO_3界面構造解析(26aWG 高温超伝導2(理論・磁気共鳴・中性子),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
• 24aPS-66 表面X線回折法によるPb/Si(111)表面の再構成構造とその相転移(24aPS 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 24aPS-65 Structures formed by Pb deposition onto high-index Si surfaces
• 29pPSB-60 Sn/Ge(111)及びSn/Si(111)低温相のLEEDによる検証(29pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• ラウエ写真を撮ってみよう
• 3. 微少量・高精度・極限に迫る 表面構造をX線回折で調べる
• 表面を探る : 1. ビーム・表面相互作用: 放射光: 新しい展開 ( 表面)
• B. K. Tanner and D. K. Bowen編: Characterization of Crystal Growth Defects by X-Ray Methods; Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Durham, 1979, Plenum Press, New York and London, 1980, xxvi+589ページ, 26×17.5cm, 21,840円(NATO Advanced Study Instit
• 表面X線回折の最近の動向と位相問題
• X線回折によるSi(111)-√×√-Ag表面構造解析と相転移研究
• 25pTN-2 中性子微分位相コントラストイメージング法の開発(25pTN X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 25pTG-11 Pb/Si(111)表面の1×1↔√7×√3相転移(25pTG 表面界面構造(半導体・無機化合物),領域9(表面・界面,結晶成長))
• 28pTH-1 Si(111)上のBi(001)超薄膜の界面構造解析(28pTH 表面界面構造(金属),領域9(表面・界面,結晶成長))
• 27pPSA-38 ペンタセン超薄膜のX線CTR散乱法による構造解析(27pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
• 23aJA-8 多波長同時分散型CTR散乱法の時分割測定への応用(23aJA X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 23aJA-7 ラウエケースのX線CTR散乱(23aJA X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 21aHA-7 X線CTR散乱法によるペンタセン超薄膜の界面構造(21aHA 表面界面構造(有機化合物),領域9(表面・界面,結晶成長))
• 多波長同時分散型光学系を用いた結晶トランケーションロッド散乱プロファイルの迅速測定法の開発
• 表面X線回折による研究 : さらなる発展と広がりを

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク