水素・窒素混合プラズマを用いたECR-MBE成長GaN薄膜の構造評価 : エピタキシャル成長I

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概要

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• Structural characterization of GaN grown on GaN templates with a different polar-surface by ECR-MBE using hydrogen-nitrogen mixed gas plasma was carried out. Changes in structure and surface morphology were compared between the GaN grown on N-polar template and those on Ga-polar template.

• 日本結晶成長学会の論文
• 2000-07-01

著者

• 荒木 努

  立命館大学 理工学部

• 名西 〓之

  立命館大学 理工学部

• 名西 〓之

  立命館大学

• 千葉 恭男

  立命館大学理工学部

• 千葉 恭男

  立命館大学理工学部光工学科

• 十二 紀行

  立命館大学理工学部

• 木島 雅史

  立命館大学理工学部

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