GaAs IC用基板・LEC結晶の不均一性 : 評価
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1983-06-25
著者
-
名西 〓之
立命館大学
-
石田 暁
日本電信電話公社武蔵野電気通信研究所半導体部品研究室
-
宮澤 信太郎
日本電信電話公社・厚木電気通信研究所
-
名西 〓之
日本電信電話公社・厚木電気通信研究所
-
本多 隆
日本電信電話公社・厚木電気通信研究所
-
石田 暁
日本電信電話公社・厚木電気通信研究所
-
宮澤 信太郎
早大
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