KOH水溶液を用いたInNの極性評価(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))
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概要
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KOH水溶液を用いた、InNの極性評価について報告する。RF-MBE法を用いて、In極性およびN極性InNをサファイア基板上に作製した。作製した両サンプルは、KOH水溶液10mol/lを用いて、20〜120分間エッチングを行った。N極性InNを長時間エッチングした結果、六角錘状の突起が現れた。一方、In極性InNの場合、転位に起因すると思われる逆六角錘及びドット状のエッチピットが現れた。極性の違いによりエッチング後の表面モフォロジーが明らかに異なり、KOH水溶液を用いてInNの極性を簡便に評価できることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-05-20
著者
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