超低電力LSIを実現する薄膜BOX-SOI(SOTB)CMOS技術

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概要

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• 2012-07-26

著者

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所

• 水谷 朋子

  東京大学生産技術研究所

• 杉井 信之

  超低電圧デバイス技術研究組合

• 岩松 俊明

  超低電圧デバイス技術研究組合

• 山本 芳樹

  超低電圧デバイス技術研究組合

• 槇山 秀樹

  超低電圧デバイス技術研究組合

• 角村 貴昭

  超低電圧デバイス技術研究組合

• 篠原 博文

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• 青野 英樹

  超低電圧デバイス技術研究組合

• 尾田 秀一

  超低電圧デバイス技術研究組合

• 山口 泰男

  超低電圧デバイス技術研究組合

• 蒲原 史朗

  超低電圧デバイス技術研究組合

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