<研究速報>異方性エッチングにより作製したシリコン単電子トランジスタの室温動作 (マイクロマシン特集号)
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概要
著者
-
平本 俊郎
東京大学生産技術研究所
-
石黒 仁揮
慶應義塾大学 理工学部 電子工学科
-
齋藤 真澄
東京大学生産技術研究所
-
高橋 信義
松下電器産業K.K
-
石黒 仁揮
K.K東芝
-
齋藤 真澄
(株)東芝研究開発センターLSI基盤技術ラボラトリー
-
齋藤 真澄
東芝研究開発センターlsi基盤技術ラボラトリー
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