極薄膜SOIトランジスタにおける量子効果による移動度向上

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概要

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• 2008-06-02

著者

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所

• 清水 健

  東京大学生産技術研究所

• 筒井 元

  東京大学生産技術研究所

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