紫外光高感度・高信頼性を有する原子オーダー平坦Si表面を用いたフォトダイオードのドーパントプロファイル

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概要

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• 2012-05-21

著者

• 須川 成利

  東北大学大学院工学研究科

• 黒田 理人

  東北大学大学院工学研究科

• 中澤 泰希

  東北大学大学院工学研究科

• 幸田 安真

  東北大学大学院工学研究科

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