SiC表面の直接窒化とXPSによる窒化層の評価
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概要
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- 2006-09-28
著者
-
林部 林平
信州大学工学部
-
阿部 克也
信州大学工学部
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
山上 朋彦
信州大学工学部
-
山口 哲生
信州大学工学部
-
萩原 正宜
信州大学工学部電気電子工学科
-
陳 晨
信州大学工学部
-
石田 芳樹
信州大学工学部電気電子工学科
-
石田 芳樹
信州大学工学部
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