スパッタ法によるTaN抵抗体薄膜と電極との接触抵抗
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概要
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スパッタ法により作製したTaN薄膜抵抗と電極の接触抵抗を測定した。電極形状を一定にしたまま抵抗体の長さを変えることにより、電極部分の抵抗と抵抗体自体の抵抗とをそれぞれ独立に評価した。電送線路モデル(TLM:Transmission Line Model)により、TaN薄膜と電極との固有接触抵抗とその温度係数を求め、堆積条件との関係を検討した。電極部分の抵抗は、抵抗体部分の面抵抗の1/10程度の値を持ち、精密な値の薄膜抵抗を作製する場合には考慮する必要があることが示された。固有接触抵抗は、薄膜の窒素濃度に依存し、およそ10^-8Ω/m^2のオーダーであった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-11-06
著者
-
林部 林平
信州大学工学部
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
小畑 元樹
シチズンファインテック株式会社
-
作田 輝行
信州大学工学部電気電子工学科
-
小畑 元樹
信州大学工学部電気電子工学科
-
作田 輝之
信州大学工学部電気電子工学科
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