スパッタリング法による酸素センサ用正方晶ジルコニア薄膜の作製
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概要
著者
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上村 喜一
信州大学工学部
-
中尾 真人
信州大学工学部
-
小沼 義治
信州大学工学部
-
中尾 眞人
信州大学工学部電気電子工学科
-
小沼 義治
信州大学
-
佐藤 晴信
信州大学工学部
-
藪崎 純
信州大学工学部
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