C-6-9 リアクティブスパッタ法によるZrO_2薄膜の生成とその評価
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-03-08
著者
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
中尾 真人
信州大学工学部
-
小沼 義治
信州大学工学部
-
上村 喜一
信州大学 工学部
-
中尾 眞人
信州大学工学部電気電子工学科
-
松下 裕之
信州大学 工学部
-
小沼 義治
信州大学
-
山内 洋亮
信州大学 工学部
-
中尾 眞人
信州大学 工学部
-
小沼 義治
信州大学 工学部
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