ZnO薄膜を表面に生成させたATカット水晶振動子の周波数湿度特性
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概要
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われわれは、自然にやさしく周波数温度特性の優れたATカット水晶振動子を用いた高精度湿度センサの開発を目指している。今回はそのATカット水晶振動子の表面にZnO薄膜を生成させた。このZnO薄膜もまた、自然にやさしく、化学的にも安定でさまざまな機能を併せ持つと同時に単結晶から非晶質までさまざまな結晶状態における利用が期待される物質である。そして周波数温度特性と周波数湿度特性、電気的等価回路定数の直列抵抗R1を測定し、検討した。その結果、この膜の効果が現れることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-10-19
著者
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
小沼 義治
信州大学工学部
-
中澤 光男
信州大学工学部電気電子工学科
-
中澤 光男
信州大学 工学部
-
中澤 光男
信州大学工学系研究科
-
小沼 義治
信州大学
-
黒岩 真弓
信州大学 工学部
-
佐野 東樹
信州大学工学部
-
黒岩 真弓
信州大学工学部
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