2工程以上の化学エッチングプロセスで製造された片面ないし両面溝型共振子
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
化学エッチング加工を使用して、2段階形状型をした片面溝型共振子の製作を行なった。その目的は、水晶の異方性を回避して、水晶板の板厚に関係なく、口径比80:1(d/t)をもつ最適な構造の共振子を得ることである。さらに電気的な特性を高めるために、片面に2段階形状の凹形状をした水晶ブランクを、両面研磨盤(ラップ盤)を使用して、上下の両側から圧力をかけて研磨加工することにより、撓みの現象により、凸レンズ形状の片面溝型の水晶共振子を製作することに成功した。
- 2001-10-19
著者
-
長浦 善昭
ナガウラ ラボ(株)
-
横溝 精一
岡山県工業技術センター
-
長浦 善昭
長浦ラボ
-
長浦 久美子
長浦ラボ
-
長浦 善一郎
長浦ラボ
-
木下 数博
長浦ラボUSA
-
永戸 一孝
長浦ラボ
-
江本 恭平
長浦ラボ
-
今仁 和武
長浦ラボ
-
村田 求
長浦ラボ
-
中澤 光男
信州大学
-
横溝 精一
岡山県商工労働部
-
中澤 光男
信州大学工学系研究科
関連論文
- 2工程以上の化学エッチングプロセスで製造された片面ないし両面溝型共振子
- ネットワークアナライザを用いた超薄型溝型(逆メサ型)水晶振動子の周波数特性
- 超薄型溝型ATカット水晶振動子の加工と共振周波数特性
- 超精密切削加工技術を用いた小型ODV用ミラーの開発
- 1003 各種雰囲気が合成ダイヤモンド工具の精密切削に及ぼす影響 : 工具摩耗ならびに加工面性状への影響(設計工学・システム,生産加工・工作機械,生産システムI)
- 1022 人工関節用Co-Cr-Mo合金の切削加工面性状に影響を及ぼす切削現象の把握(生産加工・工作機械,生産システムIV,産業・化学機械)
- ステント開発におけるテクノロジー(新しい医療技術と精密工学の接点)
- 大型アクリル樹脂製レンズの作製に関する研究
- 単結晶ダイヤモンドドリルを用いた単結晶シリコンの高品位穴加工
- 加速管ディスク接合面の最適加工条件の決定
- RIEを用いた単結晶シリコン加工面クラックの新しい検出法
- 無酸素銅のダイヤモンド切削における工具損耗の監視(第2報) : AEによるチッピングの検出と工具寿命診断
- 307 加速管ディスクの表面仕上げに関する研究 : 情報量の概念を用いた最適条件の導出([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 無酸素銅のダイヤモンド切削における工具損耗の監視(第1報) : 工具損耗と切削力のカオス変動
- 世界をリードする岡山のナノテクノロジー技術
- 315 ダイヤモンド切削工具の摩耗監視に関する研究 : 工具寿命の予測法
- YAGレーザを併用した超硬合金への微細深穴放電加工(続報) : レーザ加工による下穴と放電加工軸の高精度位置決め法
- 透過型電子顕微鏡による無酸素銅切削加工面微細組織の調査
- 石英ガラスにおける塗布効果 : オレイン酸吸着の機械的性質への影響
- YAGレーザを併用した超硬合金への微細深穴放電加工
- 水晶振動子の加工変質層の透過電子顕微鏡観察 : 加工変質層と周波数特性の関係
- YAGレーザを併用した高硬度材料への微細深穴放電加工
- 総形研削に対応した研削液注水方法の開発 : フローティングノズルの試作と性能評価
- YAGレーザを併用した超硬合金への微細深穴放電加工(第2報) -下穴の3次元アライメントによる高精度加工-
- YAGレーザを併用した超硬合金への微細深穴放電加工
- エキシマレーザを用いたグラファイトのマイクロ旋削加工に関する研究
- 高性能水晶振動子の高能率加工法に関する研究 : 第2報 : 両面研磨盤による研磨加工
- 高性能水晶振動子の高能率加工法に関する研究 : 第1報 : ボール砥石を用いた研削加工
- 有限要素法によるAT板の三次元振動解析
- 0939 Hip SimulatorによるMetal-on-Metal型人工股関節の耐摩耗性の評価(OS20-2:人工関節とバイオエンジニアリング2)
- CBNホイールの総形成形に関する研究 : EFドレッシング法の開発
- 立形SFロータリドレッサによるダイアモンドホイールのドレッシング-ドレス砥石の種類の影響-
- ダイヤモンドホイールのドレッシングに関する研究-総形成形の試み-
- 小型クライオクーラーを用いたコアレス超伝導モーターの開発
- 生分解性プラスチックのバイオケミカルマシニング : 酵素による微細除去加工法の開発
- 生分解性プラスチックのバイオケミカルマシニング(第3報) -赤カビの酵素による除去加工能率の向上ならびに加工面性状について-
- 人工関節用Co-Cr-Mo合金の切削特性
- 無酸素銅超精密切削加工面表層の透過型電子顕微鏡観察
- 単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究
- 単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究
- 微細形状創成のためのエキシマレーザ旋削加工に関する研究
- エキシマレーザを用いたマイクロ旋削加工に関する研究
- ステンレス鋼SUS304切削における塗布効果
- 無酸素銅精密切削での合成ダイヤモンド工具の磨耗--各種雰囲気の影響
- ガラスの延性モード加工面における遅れき裂進展
- EFドレッシング法によるレジノイド CBNホイールのツルーイングに関する研究
- CFドレッシング法によるダイヤモンドホイールのR成形
- 総形研削に対応した新たな研削液注水法の試作-フローティングノズルの開発-
- 静磁波素子の共鳴周波数の温度特性改善
- 矩形形状BiGa置換YIG薄膜の共鳴磁界の温度変動について
- 温度による共鳴周波数の変動が極めて小さな静磁波素子用YIG薄膜
- 極微細電極の高精度成型法に関する研究
- エキシマレーザによる単結晶シリコンの加工特性
- カーボンナノチューブを配合した熱媒体の温度特性
- ネットワークアナライザによる水晶ブランク研磨機の制御
- ビトリファイド砥石における砥粒支持剛性の分布と砥粒変位形態に関する研究
- 超砥粒ホイールにおけるドレッシングに関する研究 -SFドレッシング法の最適化-
- EFドレッシング法によるレジノイドCBNホイールの総形成形
- 水晶発振器の耐衝撃特性について
- 電極膜厚を考慮した水晶音さの研究
- ZnO薄膜を表面に生成させたATカット水晶振動子の周波数湿度特性
- セラミックスにおける塗布効果 : オレイン酸吸着の機械的性質への影響
- 水晶振動子を用いた流速センサについて
- ATカット水晶振動子のカット角に対する周波数頂点温度特性の二次形式による解析
- ATカット水晶振動子のカット角に対する周波数頂点温度特性の二次形式による解析
- 両面研磨盤を用いた高周波用水晶振動子の加工技術 (特集 ハイテク産業を支える超精密加工技術)
- 純アルミニウム超精密切削加工面表層の透過型電子顕微鏡観察
- 9H-20 衝撃緩和構造を組み込んだ人工股関節の開発(OS-13(5) 骨格系の医療デバイス)
- C02 無酸素銅精密切削におけるダイヤモンド工具の摩耗と内部欠陥の関係(OS11 超精密加工(1))
- D10 Co-Cr-Mo合金板材の切削抵抗と加工面性状(OS14 先端材料・難削材の加工(1))
- A06 ニッケル基超耐熱合金切削における塗布効果(OS13 環境適応形加工(2))
- 微生物を利用した金属の微細加工
- セラミックスの切削性に及ぼす雰囲気の影響
- 電界付加バイオマシニングに関する研究
- バクテリアを用いた金属の微細加工技術
- バイオマシニングに関する基礎的研究 : チオバチルス・フェロオキシダンスによる金属の除去加工
- 超精密加工の基礎と超精密切削加工研究のトピックス--ダイヤモンド工具切削と加工面性状
- 無酸素銅精密切削におけるダイヤモンド工具損耗特性 : 刃先先端部の微小内部欠陥と損耗の関係
- 微粉木材を用いた圧縮成形技術の開発
- 天然バインダーを用いた炭粉末の圧縮成形技術