超薄型溝型ATカット水晶振動子の加工と共振周波数特性
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概要
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我々は、自然にやさしく, 周波数温度特性の優れた高周波用超薄型溝型(逆メサ型)ATカット水晶振動子の開発を目指している。今回はその水晶振動子の精密加工法と共振周波数特性について報告する。
- 2001-10-19
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