TaN_x薄膜抵抗体における基板表面粗さの影響
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概要
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- 2003-11-04
著者
-
林部 林平
信州大学工学部
-
阿部 克也
信州大学工学部
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
原田 佳和
信州大学工学部電気電子工学科
-
小畑 元樹
シチズンファインテック株式会社
-
作田 輝行
信州大学工学部電気電子工学科
-
小畑 元樹
信州大学工学部電気電子工学科
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