複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO_2薄膜の作製と構造評価

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概要

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• 2011-10-19

著者

• 阿部 克也

  信州大学工学部

• 山上 朋彦

  信州大学工学部

• 横本 拓也

  信州大学工学部

• 前田 洋輔

  信州大学工学部

• 宮澤 匠

  信州大学工学部

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