カーボンナノチューブ複合電極の電界電子放出特性(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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銅めっき液中にカーボンナノチューブ(CNT)を分散させて作製した銅めっき薄膜試料について,電界放出型電子顕微鏡(FE-SEM)による表面観察,電界電子放出特性の測定を行い評価した.表面観察の結果から,膜表面は,CNTが絡み付いた球状の銅粒子により構成されていることが分かった.また,めっき時間を変化させると,銅粒子の粒径は変化するが,CNTの密度はほとんど変化しないことが明らかとなった.さらに,電界放出測定の結果から,加熱処理なしの試料においてターンオン電圧1〜2V/μm,電界強度2.6V/μmにおける電流密度1mA/cm^2という良好な値を得ることに成功した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-11-04
著者
-
遠藤 守信
信州大学工学部
-
新井 進
信州大学工学部
-
長谷川 洋祐
信州大学工学部
-
稲垣 優人
信州大学工学部
-
須澤 孝昭
信州大学工学部
-
前沢 洋介
信州大学工学部
-
林部 林平
信州大学工学部
-
阿部 克也
信州大学工学部
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
前沢 洋介
信州大学工学部電気電子工学科
-
稲垣 優人
信州大学工学部電気電子工学科
-
長谷川 洋祐
信州大学工学部電気電子工学科
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