絶縁体中に分散させたカーボンナノチューブを用いた冷陰極の試作と評価(薄膜プロセス・材料,一般)
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概要
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絶縁体中にカーボンナノチューブを分散させることにより、電界増幅係数を高く保ったまま安定な冷陰極を構成できることを提案した。実際にこの構造の冷陰極を試作して特性を評価し可能性を示した。簡単なモデルにより、真空中に突出している部分の長さが等しい場合絶縁体で固着した方が導体で固着した構造よりも高い電界増幅係数を実現できる可能性を示した。ゾル・ゲル法で試料を試作した結果、およそ1V/μmから電界放出電流が検出された。
- 2009-10-22
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