C-6-7 スパッタ堆積させた炭素薄膜のFE特性に対するプラズマ処理の効果(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-09-02
著者
-
林部 林平
信州大学工学部
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
斉藤 裕史
信州大学工学部
-
山上 朋彦
信州大学工学部
-
斎藤 裕史
信州大学工学部
-
宮崎 慶
信州大学工学部
-
田口 義之
信州大学工学部
-
宮永 琢也
信州大学工学部
-
上村 喜一
信州大学工学部電気電子工学科
-
山上 朋彦
信州大学工学部電気電子工学科
-
斉藤 裕史
信州大学工学部電気電子工学科
-
林部 林平
信州大学工学部電気電子工学科
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