反応性スパッタ法によるNbCxN1-x超伝導薄膜の作成

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概要

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著者

• 上村 喜一

  信州大学工学部

• 小沼 義治

  信州大学工学部

• 小沼 義治

  信州大学

• 牧村 浩明

  長野県総合教育センター

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