熱フィラメントアシストスパッタ法による結晶性炭素薄膜の生成
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概要
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一般的にスパッタ法によって作製された炭素薄膜は非結晶性を示すが、ターゲットと基板の間にタングステン製の熱フィラメントを設置した方法によって結晶性の炭素薄膜の生成に成功した。この薄膜をXPS、XRD、TEM、TED、FE-SEM、ラマン分光法によって評価を行った。XPSにより生成した炭素薄膜は炭素が9割以上を占めていること、XRDより結晶化した炭素薄膜が生成されたこと、TEM、TED、FE-SEMによって生成された炭素薄膜は繊維状結晶で構成されていること、またラマン分光測定により生成された薄膜にはcarbyne状の成分が含まれていること等が確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-10-20
著者
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
中尾 真人
信州大学工学部
-
小沼 義治
信州大学工学部
-
中尾 眞人
信州大学工学部
-
中尾 眞人
信州大学工学部電気電子工学科
-
小沼 義治
信州大学
-
松元 裕次
信州大学工学部
-
武田 聡史
信州大学工学部
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