結晶性炭素薄膜の生成とその諸特性評価
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概要
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直流マグネトロンスパッタ法にタングステン熱フィラメントを設置した装置を用いることにより、配向性の強い結晶性炭素薄膜を比較的低い基板温度で生成した。炭素薄膜の結晶構造は、X線回折測定、TED、FE-SEM、XPSにより評価した。X線回折測定より、基板温度600〜700℃、Wフィラメント温度2000℃で生成した薄膜は、Chaoiteの (220) 面に対応する強い回折ピークが現れた。Chaoiteは、炭素の同質異型の1つであるCarbyneの多型である。また、FE-SEMから、薄膜表面には直径約700Åの徴結晶が多数存在していることが観察された。TEDパターンは、Carbyne薄膜が (220) 面に優越配回していることを示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-31
著者
-
上村 喜一
信州大学工学部
-
中尾 真人
信州大学工学部
-
小沼 義治
信州大学工学部
-
Oo M
信州大 工
-
Oo Myo
信州大学工学部
-
中尾 眞人
信州大学工学部
-
松島 久夫
長野工業高等専門学校電気工学科長野工業高等専門学校電子情報工学科
-
中尾 眞人
信州大学工学部電気電子工学科
-
松島 久夫
長野高専
-
小沼 義治
信州大学
-
河合 善史
信州大学工学部電気電子工学科
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