スパッタリング法によるPt抵抗薄膜の作成
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概要
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Pt is a valuable material for thermal sensors, because of its excellent thermal stability and linearity of resistance-temperature. This paper describes the electrical properties of Pt thin films prepared by th sputtering method. The experimental results are summarized as follows. The thickness of Pt thin films is about 500 〓～1000〓 depending on the strength of the ionic current. Their resistance-temperature chracteristic shows a remarkable hysteresis phenomenon. Their crystallization depends on the temperature of heat treatment.
- 長野工業高等專門学校の論文
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