横本 拓也 | 信州大学工学部
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概要
関連著者
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阿部 克也
信州大学工学部
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横本 拓也
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山上 朋彦
信州大学工学部
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前田 洋輔
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宮澤 匠
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山上 朋彦
信州大学工学部電気電子工学科
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榊 和彦
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荒井 崇
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小坂 孝之
信州大学工学部
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岡島 和希
信州大学工学部
著作論文
- 反応性スパッタ法によるCuAlO_2薄膜の作製とアニール効果
- 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO_2薄膜の作製と構造評価(薄膜プロセス・材料,一般)
- 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO_2薄膜の作製と構造評価
- コールドスプレー法により作製したCu/Alターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO_2薄膜の作製(薄膜プロセス・材料,一般)