上村 喜一 | 信州大学 工学部
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概要
関連著者
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上村 喜一
信州大学工学部
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信州大学
著作論文
- CS-6-6 HW-CVD法によるSiC薄膜の作製と評価(CS-6.薄膜の高機能発現をともなう低温成膜技術の最前線,シンポジウム)
- 四塩化ケイ素を用いたプラズマCVD法による SiC薄膜の形成
- C-6-9 リアクティブスパッタ法によるZrO_2薄膜の生成とその評価
- SiH_2Cl_2 をソースガスとしたプラズマCVD法による SiC 薄膜の生成と諸特性