田中 裕之 | 信州大学

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概要

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• 同名の論文著者
• 信州大学の論文著者

関連著者

• 上村 喜一

  信州大学工学部

• 田中 裕之

  信州大学

• 小沼 義治

  信州大学工学部

• 小沼 義治

  信州大学

• 米久保 荘

  信州大学工学部

• 上村 喜一

  信州大学 工学部

• 本間 敏男

  信州大学工学部

• 田中 裕之

  信州大学工学部

• 米久保 荘

  信州大学

著作論文

• 四塩化ケイ素を用いたプラズマCVD法による SiC薄膜の形成
• SiCl_4のプラズマCVDによる多結晶Si及びSiC薄膜

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