RFスパッタによるZnSe 薄膜の作成
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概要
著者
-
吉田 明
豊橋技術科学大学 電気・電子工学系
-
安田 匡一郎
名古屋工業技術研究所
-
増田 晴穂
National Industrial Research Institute of Nagoya
-
増田 晴穂
名古屋工業技術研究所
-
武田 道彦
名古屋工業技術試験所
-
吉田 明
豊橋技術科学大学
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