セルアレイ拡張方式を用いたDRAMモジュールジェネレータ

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概要

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• セルアレイ拡張方式を用いたDRAMモジユールジェネレータを開発した。本手法は、セルアレイを単位としてマクロ容量を拡張し、セルアレイ間でセンスアンプを共有する。これにより、マクロ構成の自由度が上がり、レイアウト面積が縮小できる。0.35μmプロセスにより本手法を実現し、2112種類のマクロを得る事が出来た。また、32Mbitマクロに於いて、従来手法に比較して17.2%レイアウト面積が縮小できた。モジュールジェネレータは、クロック周波数150MHzの32Mbitマクロを含む多数のマクロを、一つのマクロ当たり5秒以内の短い時間で生成する事が出来た。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1998-07-24

著者

• 山田 正昭

  株式会社東芝半導体設計・評価技術センター

• 山田 正昭

  (株)東芝ulsi研究所

• 宮野 信治

  東芝

• 北城 岳彦

  株式会社東芝セミコンダクター社

• 宮野 信治

  半導体理工学研究センター

• 北城 岳彦

  (株)東芝セミコンダクター社

• 山田 正昭

  (株)東芝半導体設計・評価技術センター

• 宮野 信治

  (株)東芝セミコンダクター社

• 矢部 友章

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 矢部 友章

  (株)東芝半導体デバイス技術研究所

• 山田 正昭

  株式会社 東芝 半導体設計評価技術センター

• 村方 正美

  (株)東芝 半導体設計・評価技術センター

• 山田 正昭

  (株)東芝 Ulsi研究所

• 竹内 秀輝

  (株)東芝半導体設計・評価技術センター

• 圓角 元洋

  (株)東芝半導体システム技術センター

• 村方 正美

  (株)東芝半導体設計・評価技術センター

• 竹内 秀輝

  株式会社東芝半導体設計・評価技術センター

• 北城 岳彦

  東芝

• 圓角 元洋

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 矢部 友章

  (株)東芝セミコンダクター社

• 矢部 友章

  (株)東芝セミコンダクター&ストレージ社アナログ・イメージングIC事業部

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